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拉晶炉配置UPS电源

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浏览：- 发布日期：2020-11-13 14:57:35【大中小】

应用场景

近年来，国家不断出台产业政策，支持半导体和光伏行业的发展。在国家政策的推动下，中国半导体、光伏等行业得到快速发展，对大尺寸半导体晶圆的市场需求也在快速增长。

需求分析

拉晶炉是晶体硅生长设备的一种，主要由用于生产合成硅材料的机械炉室、电器控制柜和主要的石墨热场系统等构成；其主要运行原理是通过石墨热场在机械炉室内把硅料熔化成液态，在电器控制柜的自动控制下在主炉室内合成制备凝结成单晶硅棒，所以对电气控制配配置UPS不间断保护电源就尤为重要。

电控柜电源系统用于系统总电源过流保护及管理，功率电源柜输出的交流220V 为电控柜提供总电源，由UPS电源后输出。UPS空开用于UPS输出过流保护及管理。总电源上电并合上总电源空开之后，UPS会自动启动。

拉晶炉

配置方案

电控柜设置了大量端子排用于集中管理各类信号，包括主控电源，系统开关信号和部分模拟信号，还有晶体运动控制信号，坩埚运动控制信号及与PLC输入输出点连接的信号，所以客户在其拉晶炉前段配置UPS不间断电源，来保护设备的连续正常运行，避免突然断电带来的损失；一般来说，电源的配备原则是1kva或者2kva 的UPS电源方案。

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